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采用了三重扫描方式,运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理,高倍率和低倍率,平面、凹凸表面的细微粗糙度,以及镜面体,透明体等。基恩士VK-X3000系列形状测量激光显微系统拥有应对多种样品的测量能力(从 1 nm 到 50 mm),纳米/微米/毫米一台完成测量。
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