NEXIV VMZ-NWL200影像测量仪

简要描述：NEXIV VMZ-NWL200影像测量仪是一款集成了影像测量系统“NEXIV”和晶圆加载器“NWL200”的自动晶圆测量系统。NEXIV 拥有先进的图像处理技术，可以自动对载具中装载的 6 英寸或 8 英寸晶圆进行高速、高精度的测量。

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NEXIV VMZ-NWL200影像测量仪

是一款集成了影像测量系统“NEXIV”和晶圆加载器“NWL200”的自动晶圆测量系统。NEXIV 拥有先进的图像处理技术，可以自动对载具中装载的 6 英寸或 8 英寸晶圆进行高速、高精度的测量。

高可靠性、高效率和可操作性

NEXIV 影像测量系统广泛运用于全球半导体行业，现已与尼康久经验证的 NWL200 自动晶圆装载系统集成。

打造出的成果便是 VMZ-NWL200，这是一款具有可靠性和效率的创新型测量单元。此外，专门开发的软件简化了需在工艺控制中执行的复杂操作。如今，高质量数据可以更快地反馈到生产线，从而最大限度地提高良品率。

高可靠性

VMZ-NWL200 可以自动且稳定地执行测量，因此消除了由于操作员对读数的不同解释而导致的结果易变性。此外，Nikon 充分利用其作为光学设备制造商的优势，以提供清晰的图像，从而准确地检测被检查对象的边缘。

高效率

只需点击一次，即可开始使用 VMZ-NWL200 执行检查。而且，测量效率是工业测量显微镜的三倍。该影像测量系统的效率高，可帮助实现低 COO（使用成本）。

高可操作性

由于晶圆图形显示在 GUI 上，操作员只需用鼠标点击相应的点即可指出要测量的芯片。

规格参数

设备	影像测量系统：NEXIV（VMZ-S3020 Type2、Type3、TypeTZ）
设备	加载器：NWL200
*晶圆 1**	尺寸：6、8 英寸（SEMI/JEIDA 标准）
兼容的载具	6 英寸：PA182-60MB-06XX (Entegris)
兼容的载具	8 英寸：PA192-80M-06XX (Entegris)
*产量 2**	6 分 45 秒
最低 L/S	500 线/毫米
工作环境温度	19～26℃
工作环境湿度	相对湿度小于 70%
尺寸	4125 x 3040 mm
电源电压	AC100-120V/200-240V
电源频率	50Hz/60Hz
电流消耗	7.5A/3.7A
真空	-80kPa

*1. 销售前需进行晶圆传输评估
*2. 25 片晶圆的传输时间，不包括测量时间

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